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【发明专利】 调制式激光干涉空气折射率测量方法及装置 可交易

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著录项
申请号: CN201310004167.0
申请日: 2013-01-05
公开(公告)号: CN103076304A
公开日: 2013-05-01
申请(专利权)人: 浙江理工大学
发明人: 严利平, 陈本永, 刘燕娜, 董文钧
主分类号: G01N21/45(20060101)
分类号: G01N21/45(20060101)
地址: 浙江省杭州市江干经济开发区白杨街道2号大街5号
国省代码: 330000;浙江省
代理机构: 33200 杭州求是专利事务所有限公司
代理人: 林怀禹

摘要
本发明公开了一种调制式激光干涉空气折射率测量方法及装置。双频激光器输出波长为的正交线偏振光,射向由分光镜、参考角锥棱镜和测量角锥棱镜构成的迈克尔逊干涉仪,形成各自的干涉信号,再经分光镜、偏振分光镜分光后,由两个探测器接收;石英真空腔放置在测量光路中与光线传播方向平行,通过移动参考角锥棱镜检测的干涉信号的相位差变化2π测得合成波长,通过移动压电陶瓷驱动器调制测量角锥棱镜运动,测得石英真空腔被抽成真空和通入空气时干涉信号的相位差,根据真空腔长度、合成波长和相位差变化量,可测得空气折射率n。本发明测量精度达到10-9以上,抗环境干扰能力强等优点,可应用于精密测量和激光干涉仪等技术领域。

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